申报项目名称：“基于测长扫描电镜的关键尺寸评测方法”的ISO国际标准（IS）
申报单位：中国科学技术大学
申报等级：一等奖
主要完成人信息
1. 中国科学技术大学 丁泽军，李会民
2. 新疆师范大学 邹艳波
3. 中国科学院合肥物质科学研究院 李永钢
标准内容简介
“基于测长扫描电镜的关键尺寸评测 方法”（Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM (ISO 21466)）是国际标准化组织（ISO）于2019年12月13日正式发布的微束分析领域中的一项国际标准。该标准是半导体线宽测量方面的首个国际标准，也是半导体检测领域由中国主导制定的首个国际标准，具有国际领先水平。
公示期：2020年7月27日-2020年7月31日
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联系方式：吴婷 电话：0551-63601953；邮件：wut14@ustc.edu.cn
科技成果转移转化办公室
2020年7月27日
